光刻机有什么分类
光刻机(Mask Aligner)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。那么网友们知道光刻机有什么分类吗?下面一起来了解一下吧。
1、光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动。
2、手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了。
3、半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐。
4、自动:指的是从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
以上就是对于光刻机有什么分类的相关内容。
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